|

|
-
平行平面基板に、真空蒸着によりAl膜をコーティングした全反射ミラーです。
-
傷や酸化防止のために、保護膜としてAl膜上にMgF2をオーバーコートしてあります。
-
主な使用目的は、各種測定時に反射率の低い平面(定盤等)を高平行度アルミ平面ミラーに置換えて、基準ミラーとして利用します。
-
アルミミラーの保護膜であるMgF2の代わりに、他の誘電体膜を数層蒸着することにより反射率を約5%上げるアルミ増反射膜の製作も可能です。層数は少なくても、誘電体多層膜のため、使用波長、入射角の仕様をもとに製作します。
-
アルミ平面ミラーの規格品には保護膜としてMgF2が蒸着してありますが、この保護膜の膜厚を制御することにより、紫外域で反射率をピーク(約85%)にすることも可能です。
-
反射率波長特性は実測値をもとにしたグラフであり、製造ロットにより異なる場合があります。
-
光路確認、光軸調整などの作業をする際は、必ずレーザ保護眼鏡を着用してください。
-
基板面精度はコート前の反射波面精度です。コート後の面精度とは異なりますのでご注意ください。
|
|
■機能説明図
|
■反射率波長特性(参考データ)
|
■仕 様
|
■高平行度アルミ平面ミラー

|
|
|
|
 |
|
|
 |