高平行度アルミ平面ミラー) ISAX






  • 説 明
  • 平行平面基板に、真空蒸着によりAl膜をコーティングした全反射ミラーです。
  • 傷や酸化防止のために、保護膜としてAl膜上にMgF2をオーバーコートしてあります。
  • 主な使用目的は、各種測定時に反射率の低い平面(定盤等)を高平行度アルミ平面ミラーに置換えて、基準ミラーとして利用します。
  • ご案内
  • アルミミラーの保護膜であるMgF2の代わりに、他の誘電体膜を数層蒸着することにより反射率を約5%上げるアルミ増反射膜の製作も可能です。層数は少なくても、誘電体多層膜のため、使用波長、入射角の仕様をもとに製作します。
  • アルミ平面ミラーの規格品には保護膜としてMgF2が蒸着してありますが、この保護膜の膜厚を制御することにより、紫外域で反射率をピーク(約85%)にすることも可能です。
  • 注 意
  • 反射率波長特性は実測値をもとにしたグラフであり、製造ロットにより異なる場合があります。
  • 光路確認、光軸調整などの作業をする際は、必ずレーザ保護眼鏡を着用してください。
  • 基板面精度はコート前の反射波面精度です。コート後の面精度とは異なりますのでご注意ください。


■機能説明図

■反射率波長特性(参考データ)



■仕   様



■高平行度アルミ平面ミラー



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